知青回城搞科研[八零] 第45节(2 / 7)
为此,我们姜教授团队开始了寻找深紫外光源的探索。前期,因为汞灯能够产生更短的i-line,我们也是继续在这方面深入研究,但很快我们就发现,这几乎已经达到了它的极限。
之后,我们联想到激发态的分子在向基态跃迁时,会产生……”
李筠用着不紧不慢地语气,将他们这半年来的研究过程娓娓道来。
虽然大家都没从语句中听到惊险、无奈的词句,可是在场的每一个人都很清楚,没什么研究会是如此简单的,其中的困难三言两语更是说不清楚。
但就是这样的话语,听着更让人舒服,也更让人心疼。
而大家也逐渐明白这次会议的主题,那就是他们终于发现了比365nm i-line波长更短的193nm的arf准分子激光。
这对于众人而言,简直就是难以置信的重大发现。
因为光源的波长越短,光刻机的分辨率就越小,分辨率越小,代表着清晰投影出来的图像越小。
在同样大小的一块晶圆上,投影图像越小,那么能在里面刻出的内容就越多,存储的信息就越多。
更震惊的是,这只是一个大一学生在看到分子跃迁时产生的突发联想。
众人不由得在内心感叹后生可畏,岑部长更是将自己的目光频频投向李筠身上,感叹对方的才思敏捷。
同时也松了一口气,这个重大发现意味着,本轮之后,微电子研究所的资金还可以再下拨不少,希望足够支撑大家到达下一轮研究。
在有些事情上,他也是有心无力。
虽然,大家都听清楚了几人是如何联想、发现的,但是本着对科学的严苛态度,还是有人不断发声提问。
“我看你们说,再使用arf之前,还使用了xef2,这两种化合物都含有剧毒且极其不稳定,你们确定激光器不会因此而产生难以预想的变化吗?”
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之后,我们联想到激发态的分子在向基态跃迁时,会产生……”
李筠用着不紧不慢地语气,将他们这半年来的研究过程娓娓道来。
虽然大家都没从语句中听到惊险、无奈的词句,可是在场的每一个人都很清楚,没什么研究会是如此简单的,其中的困难三言两语更是说不清楚。
但就是这样的话语,听着更让人舒服,也更让人心疼。
而大家也逐渐明白这次会议的主题,那就是他们终于发现了比365nm i-line波长更短的193nm的arf准分子激光。
这对于众人而言,简直就是难以置信的重大发现。
因为光源的波长越短,光刻机的分辨率就越小,分辨率越小,代表着清晰投影出来的图像越小。
在同样大小的一块晶圆上,投影图像越小,那么能在里面刻出的内容就越多,存储的信息就越多。
更震惊的是,这只是一个大一学生在看到分子跃迁时产生的突发联想。
众人不由得在内心感叹后生可畏,岑部长更是将自己的目光频频投向李筠身上,感叹对方的才思敏捷。
同时也松了一口气,这个重大发现意味着,本轮之后,微电子研究所的资金还可以再下拨不少,希望足够支撑大家到达下一轮研究。
在有些事情上,他也是有心无力。
虽然,大家都听清楚了几人是如何联想、发现的,但是本着对科学的严苛态度,还是有人不断发声提问。
“我看你们说,再使用arf之前,还使用了xef2,这两种化合物都含有剧毒且极其不稳定,你们确定激光器不会因此而产生难以预想的变化吗?”
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